晶圓劃片機(jī)里的砂輪刀片分為軟刀和硬刀兩種。
切割刀用于各種切割刀片,不同型號(hào)需要不同規(guī)格的刀片,屬于切割刀片,分為:硬刀、軟刀兩種。有時(shí)它也被稱為砂輪。因?yàn)樗谋砻嬗薪饎偸牧?,用于晶片、各種半導(dǎo)體包裝元件、陶瓷、玻璃、水晶、石英、鐵氧體、鉭酸鋰單晶、氧化鋁等。它的名字更混亂。事實(shí)上,無論它叫什么名字,它的工作原理都是一樣的。
在電子工業(yè)領(lǐng)域,一些脆性非金屬材料通常需要開槽或切割。開槽或切割時(shí)常用的工具是薄金剛石砂輪。在長(zhǎng)期使用薄金剛石砂輪的過程中,人們習(xí)慣于將薄金剛石砂輪分為軟刀和硬刀,以區(qū)分不同的砂輪。
以下簡(jiǎn)要描述了兩種刀的區(qū)別和特點(diǎn)。
晶圓劃片機(jī)的軟刀與硬刀的區(qū)別如下:
1.砂輪形狀的差異。
一般來說,圓形薄片砂輪稱為軟刀,而將砂輪與鋁合金刀架相結(jié)合的砂輪稱為硬刀。
2.砂輪板材料的差異。
砂輪主要由金剛石磨料和粘合劑組成。軟刀磨料粘合劑一般為金屬鎳合金或金屬銅合金和樹脂粘合劑,硬刀磨料粘合劑一般為金屬鎳合金;
3.制造晶圓劃片機(jī)的砂輪時(shí)成型工藝的差異。
制造軟刀時(shí),其成型方法一般包括電鑄成型、粉壓燒結(jié)或粉壓加熱固化成型,而硬刀一般采用電鑄成型;
4.使用方法的差異。
使用軟刀時(shí),必須定位并固定在專用刀盤(或法蘭)上,然后安裝在專用切割機(jī)上。使用硬刀時(shí),可直接安裝在專用切割機(jī)上,無需刀盤。